Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
4200A-SCS 是一個(gè)模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時(shí)進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測(cè)試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開(kāi)關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間切換，而無(wú)需重新布線或抬起探針。4200A-SCS 是*高性能的分析儀，可加快用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、工藝開(kāi)發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件的測(cè)試。
功能和特點(diǎn)
特點(diǎn) |
優(yōu)勢(shì) |
| 將源測(cè)量單元、C-V 單元和超快脈沖 I-V 單元無(wú)縫結(jié)合的一體化系統(tǒng) | 快速、清晰和準(zhǔn)確地執(zhí)行 I-V 特性分析、交流阻抗測(cè)量、波形捕獲和瞬態(tài) I-V 測(cè)量 |
| Clarius? 基于 GUI 的軟件，支持觸摸或鼠標(biāo)控制 | **測(cè)試定義、參數(shù)分析、圖形繪制和自動(dòng)化功能，實(shí)現(xiàn)清晰、**的測(cè)量和分析 |
| 內(nèi)置上下文相關(guān)的測(cè)量視頻和 450 多種應(yīng)用測(cè)試 | 快速啟動(dòng)測(cè)試及提供測(cè)量幫助和故障排除向?qū)? |
| I-V 源測(cè)量單元 (SMU) | ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模塊，100 fA 測(cè)量分辨率，以及帶可選前放的 0.1 fA 測(cè)量分辨率 |
| C-V 多頻率電容單元 (CVU) | 交流阻抗測(cè)量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 頻率范圍 |
| I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV) | 在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間輕松切換或?qū)?C-V 測(cè)量移至任何終端，而無(wú)需重新布線或抬起探針 |
| 脈沖式 I-V 超快脈沖測(cè)量單元 (PMU) | 兩個(gè)獨(dú)立或同步的高速脈沖式 I-V 源和測(cè)量通道；200 MSa/s，5 ns 采樣率；利用可選的前放將電流靈敏度擴(kuò)大到幾十皮安 |
| 高電壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU) | 兩通道高速脈沖電壓源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
| 可完全定制和升級(jí) | 現(xiàn)在或以后均可根據(jù)需要隨時(shí)添加模塊 |
模塊
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產(chǎn)品技術(shù)資料 |
模塊 |
說(shuō)明 |
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4200-BTI-A |
ULTRA FAST BTI PKG |
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4200-PA |
REMOTEPREAMPLIFIER MODULE |
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4200-SMU |
MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
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4200A-CVIV |
MULTI SWITCH |
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4210-CVU |
CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT |
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4210-SMU |
HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
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4220-PGU |
雙通道脈沖發(fā)生器 |
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4225-PMU |
ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT |
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4225-RPM |
REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE |
預(yù)配置系統(tǒng)
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配置
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技術(shù)數(shù)據(jù)
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4200A-SCS-PK1
高分辨率 IV 套件
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率用于兩端或三端器件，MOSFET，CMOS 等特性分析
4200A-SCS-PK1 套件包括：
4200A-SCS 參數(shù)分析儀
(2) 4200-SMU 模塊
(1) 4200-PA 前放
(1) 8101-PIV 測(cè)試夾具盒，帶標(biāo)準(zhǔn)樣品
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4200A-SCS-PK2
高分辨率 IV 和 CV 套件
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征高 κ 電介質(zhì)、深度亞微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK2 套件包括：
4200A-SCS 參數(shù)分析儀
(2) 4200-SMU 模塊
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 電容-電壓模塊
(1) 8101-PIV 測(cè)試夾具盒，帶標(biāo)準(zhǔn)樣品
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4200A-SCS-PK3
高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
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210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征功率器件、高 κ 電介質(zhì)、深度亞微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK3 套件包括：
4200A-SCS 參數(shù)分析儀
(2) 4200-SMU 模塊
(2) 4210-SMU 模塊
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 電容-電壓模塊
(1) 8101-PIV 測(cè)試夾具盒，帶標(biāo)準(zhǔn)樣品
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4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
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用于使用**硅 CMOS 技術(shù)進(jìn)行的復(fù)雜 NBTI 和 PBTI 測(cè)量
4200-BTI-A 套件包括：
(1) 4225-PMU 超快 I-V 模塊
(2) 4225-RPM 遠(yuǎn)程前置放大器/開(kāi)關(guān)模塊
自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 軟件
超快 BTI 測(cè)試項(xiàng)目模塊
電纜
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下載產(chǎn)品技術(shù)資料
