直觀的、點(diǎn)擊式Windows操作環(huán)境
獨(dú)特的遠(yuǎn)端前置放大器,將SMU的分辨率擴(kuò)展至 0.1fA
用于**半導(dǎo)體測(cè)試的新型脈沖與脈沖式I-V功能
集成了示波與脈沖測(cè)量功能的新型示波卡
內(nèi)置PC提供快速的測(cè)試設(shè)置、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印、以及測(cè)試結(jié)果的大容量存儲(chǔ)
獨(dú)特的瀏覽器風(fēng)格的軟件界面,根據(jù)器件的類型來安排測(cè)試,可以執(zhí)行多項(xiàng)測(cè)試并提供測(cè)試序列與循環(huán)控制功能
內(nèi)置了Stress/Measure,循環(huán)和數(shù)據(jù)分析功能,通過鼠標(biāo)點(diǎn)擊方式就可進(jìn)行可靠性測(cè)試,包括5個(gè)JEDEC規(guī)范的樣品測(cè)試
支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關(guān)矩陣與Agilent 81110脈沖發(fā)生器等多種外圍設(shè)備
硬件由 Keithley交互式測(cè)試環(huán)境(KITE)來控制,用戶測(cè)試模塊功能,可用于外接儀表控制與測(cè)試平臺(tái)集成,是KITE功能的擴(kuò)充
包括驅(qū)動(dòng)軟件,支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300,Micromanipulator 的8860自動(dòng)和手動(dòng)探針臺(tái)
支持先進(jìn)的半導(dǎo)體模型參數(shù)提取,包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
可靠性測(cè)試 — 工藝監(jiān)測(cè) — 質(zhì)保測(cè)試
4200-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)
■ 進(jìn)行極低頻C-V測(cè)量
■ 與同類競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)相比能并行測(cè)試更多器件
■ 多達(dá)12個(gè)帶脈沖功能的同步超快I-V通道
4200-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng):
■ 直流I-V、C-V、脈沖和瞬態(tài)特性分析
■ 實(shí)時(shí)繪圖和分析
■ 超過400種樣品器件測(cè)試庫(kù)
硬件
4200-SCS采用了模塊化、可配置、可升級(jí)的架構(gòu)。這使得它能
夠準(zhǔn)確滿足當(dāng)前的測(cè)量需求,并通過擴(kuò)展?jié)M足后期的需求。它的9個(gè)
儀器插槽可以混合配置4種核心測(cè)量模塊。
● 多達(dá)9個(gè)精密直流源-測(cè)量單元能夠提供和測(cè)量0.1fA到1A的
電壓,或者1μV到210V的電壓。
● 利用4210-CVU(C-V模塊)可以方便的在1kHz到10MHz測(cè)
試頻率下進(jìn)行交流阻抗測(cè)試??梢詼y(cè)量的電容范圍從aF級(jí)到μF級(jí)。
● 利用4225-PMU超快I-V模塊可以進(jìn)行脈沖和瞬態(tài)測(cè)量。該
模塊具有兩個(gè)獨(dú)立的電壓源,能夠以1V/ns的步幅調(diào)整電壓,輸出同
時(shí)測(cè)量電壓和電流。當(dāng)安裝了多個(gè)模塊時(shí),它們內(nèi)部同步的精度小于
3ns。
● 選擇兩種不同的數(shù)字示波器模塊能夠方便而高效地生成數(shù)字
波形
軟件
吉時(shí)利交互式測(cè)試環(huán)境(KITE)提供了一套完整的圖形用戶界
面,無需編程即可支持幾乎所有類型的特性分析測(cè)試。它提供了400
多種標(biāo)準(zhǔn)的特性分析測(cè)試,包括MOSFET、BJT晶體管、二極管、電
阻器、電容器、太陽(yáng)能電池、碳納米管和NVM存儲(chǔ)器,例如Flash、
RRAM、PCRAM等等。